Kompensator
01
Kompensator miechowy dla pola próżniowego
Funkcje produktu
Szczelność próżniowa: dzięki zastosowaniu precyzyjnej technologii spawania i specjalnej konstrukcji uszczelniającej, gwarantują brak wycieków w środowiskach o wysokiej próżni w zakresie od 10⁻⁸ Pa·m³/s do 10⁻¹¹ Pa·m³/s, spełniając tym samym rygorystyczne wymagania branż takich jak półprzewodniki i fotowoltaika.
Kompensacja przemieszczeń: Dzięki sprężystej deformacji mieszków, pochłaniają one przemieszczenia osiowe, boczne i kątowe, zapobiegając koncentracji naprężeń w rurociągach spowodowanej rozszerzalnością/kurczeniem się cieplną lub wibracjami urządzeń, a także wydłużając żywotność urządzeń.
Redukcja wibracji i hałasu: Elastyczna konstrukcja skutecznie redukuje wibracje i hałas przenoszony przez urządzenia, takie jak pompy próżniowe i pompy turbomolekularne, zwiększając stabilność pracy systemu.
Odporność na korozję i wysoką temperaturę: Wykonane ze stali nierdzewnej lub specjalnych stopów, nadają się do stosowania w środowisku z gazami korozyjnymi (takimi jak kwaśne gazy w procesach CVD) i w środowiskach o wysokiej temperaturze (od -200℃ do +450℃).
Zakres zastosowania
Przemysł półprzewodnikowy i elektroniczny: Stosowany w połączeniach rurociągów próżniowych urządzeń w produkcji płytek półprzewodnikowych, trawieniu, powlekaniu (PVD/CVD) itp., zapewniając wysoką czystość i przesył wolny od zanieczyszczeń.
Systemy pomp próżniowych: Podłączane do pomp Rootsa, pomp łopatkowych, pomp molekularnych itp. w celu kompensacji drgań i przemieszczeń termicznych oraz poprawy skuteczności uszczelnienia.
Zawory próżniowe i połączenia komór: W maszynach do powlekania próżniowego i urządzeniach do spawania wiązką elektronów pełnią funkcję elastycznych elementów przejściowych między zaworami i komorami, zapobiegając ryzyku wycieków spowodowanemu przez sztywne połączenia.
Sprzęt naukowo-badawczy i medyczny: stosowany w precyzyjnych instrumentach, takich jak akceleratory cząstek, mikroskopy elektronowe i suszarki próżniowe w celu zapewnienia stabilności środowisk o wysokiej próżni.
Przemysł nowej energii i fotowoltaiki: Wykorzystywane w procesach takich jak powlekanie ogniw słonecznych i suszenie próżniowe akumulatorów litowych, odporne na wysokie temperatury i chemicznie korozyjne środowiska.
Zalety produktu
Możliwość dostosowania do wysokiej próżni: spełnia wymagania ultrawysokiej próżni do 10⁻¹¹Pa·m³/s bez wydzielania zanieczyszczeń.
Konstrukcja o długiej żywotności: Wielowarstwowa struktura mieszkowa o odporności na zmęczenie ≥10 000 cykli.
Różnorodne metody łączenia: kołnierze (KF/CF), spawanie lub interfejsy szybkozłączne, kompatybilne z różnymi standardami próżniowymi (ISO/DIN).
Usługi dostosowywania: Wsparcie dostosowywania różnych kalibrów (DN10~DN500), długości i materiałów specjalnych (takich jak Hastelloy).
Mieszki próżniowe ze stali nierdzewnej to kluczowe elementy zapewniające wydajną i stabilną pracę urządzeń próżniowych, odpowiednie do zastosowań przemysłowych i naukowo-badawczych o wysokich wymaganiach dotyczących czystości i precyzji. W celu uzyskania parametrów technicznych lub wsparcia w doborze, prosimy o kontakt z naszym zespołem profesjonalistów!